客户的挑战
顾客:TDSI荷兰阿斯麦公司
在超清洁的环境中，测量低delta压力下的挠度的极薄薄膜合格。
该产品是一种极薄的具有一定弹性的薄膜。该工具应用可控的三角洲压力剖面，并测量膜的偏转。该产品在ASML扫描仪内使用，在测试过程中必须保持无颗粒。
DPQT-delta压力鉴定工具
我们的专业能力
- 整个工具生命周期(设计、构建、验证、维护)
- 洁净室兼容设计
- 低粒子生成
- 准确的压力测量
- 精确的距离测量
- 流控制
- 安全规例(CE, Semi, S2)
- Labview编程，数据收集和报告
- 人机界面设计
我们的解决方案
测试装置被放置在一个专用的下流柜内，以限制在工作区域产生颗粒。用于施加三角洲压力的空气被过滤(<10纳米)。所有的材料和运动部件的设计都避免颗粒产生的产品。气流设计和控制系统的设计是为了产生小于1pa精度的塔压。labview操作系统允许操作员执行标准测试，并允许流程工程师定义测试配方。该工具配备了诊断工具验证系统。
解决办法所使用的其他职权:
- 安全条例(CSA)
FMI高科技解决方案
更多的能力
我们为各种产品的自动化装配、处理、检验和加工设计和构建智能制造解决方案。
我们的系统运行在24/7，高产量的生产环境中，高度的准确性是必不可少的。
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