客户的挑战


顾客:TDSI荷兰阿斯麦公司

FMI高科技解决方案-鉴定工具

在超清洁的环境中,测量低delta压力下的挠度的极薄薄膜合格。

该产品是一种极薄的具有一定弹性的薄膜。该工具应用可控的三角洲压力剖面,并测量膜的偏转。该产品在ASML扫描仪内使用,在测试过程中必须保持无颗粒。

我们的专业能力

  • 整个工具生命周期(设计、构建、验证、维护)
  • 洁净室兼容设计
  • 低粒子生成
  • 准确的压力测量
  • 精确的距离测量
  • 流控制
  • 安全规例(CE, Semi, S2)
  • Labview编程,数据收集和报告
  • 人机界面设计

我们的解决方案

测试装置被放置在一个专用的下流柜内,以限制在工作区域产生颗粒。用于施加三角洲压力的空气被过滤(<10纳米)。所有的材料和运动部件的设计都避免颗粒产生的产品。气流设计和控制系统的设计是为了产生小于1pa精度的塔压。labview操作系统允许操作员执行标准测试,并允许流程工程师定义测试配方。该工具配备了诊断工具验证系统。

解决办法所使用的其他职权:

  • 安全条例(CSA)
FMI高科技解决方案

更多的能力


我们为各种产品的自动化装配、处理、检验和加工设计和构建智能制造解决方案。
我们的系统运行在24/7,高产量的生产环境中,高度的准确性是必不可少的。

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