客户的挑战
顾客:ASML
实现晶圆夹模从供应商到阿斯麦和从阿斯麦到客户的运输。
该产品由纳米级的陶瓷制成，表面只有十分之一毫米厚。因此，施加的表面应力必须非常低。允许传输工具添加的粒子几乎为零。
由于产品非常脆弱，传入的冲击和振动需要降低到最大7克(70米/秒^2)的可接受水平。气候的影响也需要控制。温度范围设置为0 - 45℃。
我们的专业能力:
- 产品运输锁定。
- 被动隔振。
- 洁净室兼容。
我们的解决方案
由于我们不允许使用连接到陶瓷上的处理接口(仅由于热膨胀差异造成的内部应力)，因此我们需要想出一个传输锁定的开箱即出的解决方案。
该产品夹在柔软的气动软管之间，软管绕着两个圆盘编织，见图。当把产品推到软管上时，表面也会增加，因此表面压力在任何时候都保持不变(我们对此进行了测试)。
该解决方案被放置在带有4个隔振器的小车上。这些隔离器将传入冲击降低到可接受的水平。为了保护产品的气候，电车被放置在一个绝缘的盒子里。
解决办法所使用的其他职权:
- 工作方式
FMI高科技解决方案
更多的能力
我们为各种产品的自动化装配、处理、检验和加工设计和构建智能制造解决方案。
我们的系统运行在24/7，高产量的生产环境中，高度的准确性是必不可少的。
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